薄膜傳感器有效使用面積的不同規(guī)格有：

• 10*20mm的矩形

•  

• 10*30mm的矩形

•  

• 10*40mm的矩形

•  

• 10*50mm的矩形

性能指標：

1、動態(tài)壓電常數：d₃₃=43.94pc/N*cm²

2、動態(tài)范圍：0~100GPa

3、頻率范圍：  0~100MHZ

4、電容值：

20um:   560~590pf/cm²

30um:   370~400pf/cm²

           50um:  210~240pf/cm²                       

100um:    100~125pf/cm²

200um:    50~70pf/cm²